MEMS压力传感器项目通过科技部专家验收

西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题——“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前顺利通过国家科技部专家组验收。

据了解，MEMS即微电子机械系统，集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域。该课题是由西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担，北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司和华中科技大学合作开发的，总投入1050万元。该课题针对石油化工、军工领域、能源电力以及汽车等行业对压力测试的特殊要求，研究低中高各量程、工作温度在-30℃—200℃的MEMS压力传感器及其批量制造与实用化技术难题。该课题将有利于我国目前耐高温压力传感器的研究工作在石油化工、军工领域、能源电力以及汽车等行业尽快实现商品化和产业化。